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A aplicação de filtros de ar comprimido na indústria de semicondutores é crucial, refletindo-se principalmente na garantia da limpeza do ambiente de produção, no controle da temperatura e umidade, na prevenção de vazamentos de gases nocivos e no atendimento à demanda de gás dos equipamentos.
Garantir a limpeza do ambiente de produção
O processo de fabricação de semicondutores é extremamente sofisticado e complexo. Mesmo pequenas partículas de poeira ou poluentes podem causar curtos-circuitos, defeitos ou até mesmo sucata nos chips.
A oficina de produção de semicondutores deve manter um ambiente de ar altamente limpo, e os filtros de ar são equipamentos-chave para atingir esse objetivo. Em todos os aspectos da produção de semicondutores, como fotolitografia, gravação e deposição de filmes finos, é necessário controlar rigorosamente os poluentes particulados no ar. Filtros de ar eficientes podem remover efetivamente pequenas partículas, bactérias, vírus, poluentes químicos e odores no ar. Através da filtração em camadas, eles fornecem à oficina de produção ar ultralimpo que atende aos padrões, minimizando a interferência de impurezas no processo de fabricação de chips.
Controlar a temperatura e a umidade durante o processo de produção
Um ambiente estável de temperatura e umidade tem um impacto importante no desempenho dos materiais semicondutores e na precisão do processo de fabricação. Um bom sistema de filtragem de ar pode cooperar com o sistema de ar condicionado para manter a temperatura e a umidade constantes na oficina de produção, garantindo a estabilidade e a consistência do processo de fabricação de semicondutores.
Atender à demanda de gás dos equipamentos
· Equipamentos de limpeza e resfriamento: Na indústria de semicondutores, o ar comprimido é usado para limpar e resfriar equipamentos de semicondutores. Como as pequenas partículas e a umidade no ar comprimido foram removidas, ele pode ser usado para limpar a superfície e o interior dos equipamentos. Além disso, o ar comprimido também pode ser usado para resfriar equipamentos de semicondutores para garantir sua operação normal e prolongar sua vida útil.
· Controlar as condições ambientais: Ao introduzir ar comprimido no ambiente de fabricação, a temperatura e a umidade podem ser ajustadas para manter condições de trabalho constantes. Além disso, o ar comprimido também pode bloquear poeira e impurezas formando um fluxo de ar para manter o ambiente de fabricação limpo.
· Fornecer fonte de energia: Uma grande quantidade de ar comprimido é necessária na produção de semicondutores para fornecer uma fonte de energia para acionar braços robóticos, correias transportadoras, refrigeradores, equipamentos elétricos e o transporte de produtos químicos. Além disso, o ar comprimido também pode ser usado para transportar produtos químicos, materiais semicondutores, etc., para locais predeterminados durante o processo de produção por meio da tecnologia de transporte pneumático para melhorar a eficiência da produção.